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高純氦氣是通過(guò)精餾法或膜分離法生產(chǎn)的。精餾法是將氦氣和其他氣體混合物在精餾塔中進(jìn)行多次蒸餾,通過(guò)控制溫度和壓力,將氦氣與其他氣體分離。膜分離法則是利用不同氣體在膜上的滲透速率不同,通過(guò)控制膜的滲透速率,將氦氣與其他氣體分離。這些方法可以將氦氣的純度提高到99.999%以上,滿足各種高精度應(yīng)用的需求。
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